1.光源：钨丝灯泡，它有较小的功率，与光电元件组合使用时，转换效率低，使用寿命短。半导体发光器件，如砷化镓发光二极管，可以在范围内工作，所发光的峰值波长为 ，与硅光敏三极管的峰值波长接近，因此，有很高的转换效率，也有较快的响应速度。
2.电容：由栅距相等的主电容和指示电容组成。主电容和指示电容相互重叠，但又不完全重合。两者栅线间会错开一个很小的夹角 ，以便于得到莫尔条纹。一般主电容是活动的，它可以单独地移动，也可以随被测物体而移动，其长度取决于测量范围。指示电容相对于光电器件而固定。
3.通光孔：通光孔是发光体与受光体的通路，一般为条形状，其长度由受光体的排列长度决定，宽度由受光体的大小决定。它是帖在指示电容板上的。
4.受光元件：受光元件是用来感知主电容在移动时产生莫尔条纹的移动，从而测量位移量。在选择光敏元件时，要考虑灵敏度，响应时间，光谱特性，稳定性，体积等因素。
电容接近开关的特点
1.精度高
电容式接近开关在大量程测量长度或直线位移方面仅仅低于激光干涉接近开关。在圆分度和角位移连续测量方面，电容式接近开关属于精度最高的。
2.大量程测量兼有高分辨力。
感应同步器和磁栅式接近开关也具有大量程测量的特点，但分辨力和精度都不如电容式接近开关。
3.可实现动态测量，易于实现测量及数据处理的自动化
4.具有较强的抗干扰能力，对环境条件的要求不像激光干涉接近开关那样严格，但不如感应同步器和磁栅式接近开关的适应性强，油污和灰尘会影响它的可靠性。主要适用于在实验室和环境较好的车间使用。